金融界2024年11月27日音讯，国家知识产权局信息数据显现，蒙城繁枫真空科技有限公司请求一项名为“一种低温真空蒸腾镀膜设备”的专利，公开号 CN 119020732 A，请求日期为2024年10月。
专利摘要显现，本发明归于真空蒸腾镀膜技术领域，本发明公开了一种低温真空蒸腾镀膜设备，包含底架、蒸腾罐、多层气体溢流器、水冷循环组织和行星伞组织，蒸腾罐的内部嵌入装置有延伸出的多层气体溢流器，多层气体溢流器包含溢流管路、稳压阀、气体操控罩、整流板、叶片、联动环、外齿环、拨动槽板、伺服马达、齿轮。本发明经过溢流管路能够将风机运送的气体进行分级运送，经过整流板将气体涣散，使其气体均匀运送至蒸腾罐的内部，经过多路入气多级整流，即便是面临大面积的基片，其也能够使基片上的镀膜作用共同，能够明显提高全体镀膜均匀性；一起经过独立的气体操控罩独立调理各个独立气流操控区域的气流转入参数，确保了各区域的镀膜作用区域共同。
